Etude de l’effet du bombardement ionique sur les propriétés de matériaux TCO par des techniques spectroscopiques et microscopiques

Abstract

Ces dernières années ont été témoins d'un formidable développement de la technologie dans divers domaines, en particulier ceux de l'électronique et du photovoltaïque. Ce développement est attribué aux propriétés uniques de certains matériaux, dont le TCO (Transparent Conductive Oxide). Ces matériaux sont des semi-conducteurs à large bande interdite (>3eV), combinant deux propriétés apparemment contradictoires, la transparence (propriété des isolants) et la conductivité (propriété des conducteurs). Récemment, les chercheurs ont travaillé à développer ces deux propriétés en plus d'autres propriétés en TCO matériaux par dopage avec différents éléments chimiques ou mise au point de méthodes de préparation de films TCO ou de méthodes de post-traitement. Dans cette étude, nous soulignerons l'importance du bombardement d'ions argon dans l'amélioration des propriétés chimiques, optiques et morphologiques en utilisant des méthodes de caractérisation puissantes et sensibles, la spectroscopie (XPS), la spectroscopie (PL) et la microscopie (AFM).